一、人員與物料進入潔凈室會把外部污染物帶入室內(nèi)，特別是人員本身就是一個重要的污染源，不同衣著、不同動作時人體產(chǎn)塵量不同，根據(jù)調(diào)查可知身著普通服裝的人走動時的產(chǎn)塵量可達約(≥0.5μm)近300×104pc/min·P。國外有關(guān)資料報導(dǎo)，潔凈室中的灰塵來源于人員因素的占35%。對潔凈室空氣抽樣分析也發(fā)現(xiàn)，主要的污染物有人的皮膚微屑、衣服織物的纖維與室外大氣中同樣性質(zhì)的微粒。由此可見，要獲得生產(chǎn)環(huán)境所需要的空氣潔凈度，人員與物料的凈化是十分必要的。二、雨具存放、換鞋、管理、存外衣、更潔凈工作服是人員凈化用室的基本組成部分，也是人員凈化必須的。生活用室及其它用室應(yīng)視車間所在地區(qū)的自然條件、車間規(guī)模及工藝特征等具體情況，根據(jù)實際需要設(shè)置。例如：車間規(guī)模較大、人員集中或工藝為暗室操作的潔凈室應(yīng)設(shè)必要的休息室。三、1凈鞋的目的在于保護人員凈化用室入口處不致受到嚴重污染。國內(nèi)多數(shù)潔凈廠房人員入口前設(shè)有擦鞋、水洗凈鞋、粘鞋墊、換鞋、套鞋等凈鞋措施。為了保護人員凈化用室的清潔，最徹底的辦法是在更衣前將外出鞋脫去，換上清潔鞋或鞋套。現(xiàn)有潔凈廠房工作人員都執(zhí)行更衣前換鞋的制度，其中不少潔凈廠房對換鞋方式作了周密考慮，換鞋設(shè)施的布置考慮了外出鞋與清潔鞋接觸的地面有明確的區(qū)分，避免了清潔鞋被外出鞋污染，例如跨越鞋柜式換鞋，清潔平臺上換鞋等都有很好的效果。2外出服在家庭生活及戶外活動中積有...
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潔凈廠房雖不同于一般工業(yè)廠房，但在材料與構(gòu)造的耐火性能以及火災(zāi)的火勢形成、發(fā)展與擴散等基本特性方面，兩者都基本一致。所以《建筑設(shè)計防火規(guī)范》(以下簡稱防火規(guī)范)中不少條文同樣適用于潔凈廠房。本文主要結(jié)合潔凈廠房的下列特點，對于防火規(guī)范尚未包括或者不全適合的部分作必要的補充：1空間密閉，火災(zāi)發(fā)生后，煙量特大，對于疏散和撲救極為不利。同時由于熱量無處泄漏，火源的熱輻射經(jīng)四壁反射室內(nèi)迅速升溫，大大縮短全室各部位材料達到燃點的時間。當廠房外墻無窗時，室內(nèi)發(fā)生的火災(zāi)往往一時不容易被外界發(fā)現(xiàn)，發(fā)現(xiàn)后也不容易選定撲救突破口。2平面布置曲折，增加了疏散路線上的障礙，延長了安全疏散的距離和時間。3若干潔凈室都通過風(fēng)管彼此串通，當火災(zāi)發(fā)生，特別是火勢初起未被發(fā)現(xiàn)而又繼續(xù)送風(fēng)的情況下，風(fēng)管成為煙、火迅速外竄，殃及其余房間的重要通道。4室內(nèi)裝修使用了一些高分子合成材料，這些材料在燃燒時產(chǎn)生濃煙，散發(fā)毒氣，有的燃燒速度極快。5某些生產(chǎn)過程使用易燃易爆物質(zhì)，火災(zāi)危險性高。例如：甲醇、甲苯、丙酮、丁酮、乙酸乙脂、乙醇、甲烷、二氯甲烷、硅烷、異丙醇、氫等，都是甲、乙類易燃易爆物質(zhì)，對潔凈廠房構(gòu)成潛在的火災(zāi)威脅。此外，潔凈廠房內(nèi)往往有不少極為精密、貴重的設(shè)備，建設(shè)投資十分昂貴，一旦失火，損失極大。鑒于以上幾方面的特點，為了保障生命、財產(chǎn)的安全，盡量減少火災(zāi)中的損失，本文分別從防止起火與燃燒，便利疏散與搶救這兩個方面...
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一、潔凈室的照明一般要求照度高。但燈具安裝的數(shù)量受到送風(fēng)風(fēng)口數(shù)量和位置等條件的限制，這就要求在達到同一照度值情況下，安裝燈具的個數(shù)最少。熒光燈的發(fā)光效率一般是白熾燈的3~4倍，而且發(fā)熱量小，有利于空調(diào)節(jié)能。此外，潔凈室天然采光少，在選用光源時還需考慮它的光譜分布盡量接近于自然光，熒光燈基本能滿足這一要求。因此，目前國內(nèi)外潔凈室一般均采用熒 光燈作為照明光源。當有些潔凈室層高較高，采用一般熒光燈照明很難達到設(shè)計照度值，在此情況下，可采用其它光色好、光效更高的光源。由于某些生產(chǎn)工藝對光源光色有特殊要求，或熒光燈對生產(chǎn)工藝和測試設(shè)備有干擾時，也可采用其它形式光源。二、照明燈具 的安裝方式是潔凈室照明設(shè)計的重要課題之一。隨著潔凈技術(shù)的發(fā)展普遍認為要保持潔凈室內(nèi)的潔凈度關(guān)鍵有3個要素：1使用合適的高效過濾器。2解決好氣流流型，維持室內(nèi)外壓差。3保持室內(nèi)免受污染。因此，能否保持潔凈度主要取決于凈化空調(diào)系統(tǒng)及選用的設(shè)備，當然也要消除工作人員及其它物體的塵源。眾所周知，照明燈具并不是主要塵源，但如果安裝不妥，將會通過燈具縫隙滲入塵粒。實踐證明，燈具嵌入頂棚暗裝，在施工中往往與建筑配合誤差較大，造成密封不嚴，不能達到預(yù)期效果，而且投資大，發(fā)光效率低。實踐和測試結(jié)果表明，在非單向流潔凈室中，照明燈具明裝并不會使?jié)崈舳鹊燃売兴陆怠ｈb于以上原因，我們認為，在潔凈室中燈具安裝應(yīng)以吸頂明裝為好。但是，若燈具...
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一、潔凈廠房內(nèi)有較多的電子設(shè)備系單相負荷，存在不平衡電流。而且環(huán)境中有熒光燈、晶體管、數(shù)據(jù)處理以及其它非線性負荷存在，配電線路中存在高次諧波電流，致使中線性流有較大的電流。而TN-S或TN-C-S接地系統(tǒng)中有專用不帶電的保護接地線(PE)，因此安全性好。二、在潔凈廠房中，工藝設(shè)備用電的負荷等級應(yīng)由它對供電可靠性的要求來確定。同時，它又與為凈化空調(diào)系統(tǒng)正常運行的用電負荷，如送風(fēng)機、回風(fēng)機、排風(fēng)機等有密切的聯(lián)系。對這些用電設(shè)備的可靠供電是保證生產(chǎn)的前提。在確定供電可靠性方面，下列幾個因素應(yīng)予以考慮：1.潔凈廠房是現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)發(fā)展的產(chǎn)物。隨著科學(xué)技術(shù)的日新月異，新技術(shù)、新工藝、新產(chǎn)品不斷出現(xiàn)，產(chǎn)品精密度的日益提高，對無塵提出了越來越高的要求。目前，潔凈廠房已廣泛應(yīng)用于電子、生物制藥、宇航、精密儀器制造等重要部門。2.潔凈廠房的空氣潔凈度對有凈化要求的產(chǎn)品質(zhì)量有很大影響。因此，必須保持凈化空調(diào)系統(tǒng)的正常運行。據(jù)了解，在規(guī)定的空氣潔凈度下生產(chǎn)的產(chǎn)品合格率可提高約10%~30%。一旦停電，室內(nèi)空氣會很快污染，影響產(chǎn)品質(zhì)量。3.潔凈廠房是個相對的密閉體，由于停電造成送風(fēng)中斷，室內(nèi)的新鮮空氣得不到補充，有害氣體不能排出，對工作人員的健康是不利的。潔凈廠房內(nèi)對供電有特殊要求的用電設(shè)備宜設(shè)置不間斷電源(UPS)供電。對供電有特殊要求的用電設(shè)備是指采用備用電源自動投入方式或柴油發(fā)電機組應(yīng)急自啟動方式仍不...
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一、氣體管道的連接1.氣體管道的連接目前都是采用焊接，主要是能確保管道連接的嚴密性。鍍鋅鋼管一般是螺紋連接，由于施工較麻煩且嚴密性比焊接要難以保證，有少數(shù)單位采用焊接，它帶來的問題是破壞了管道原有的鍍鋅層，容易生銹，焊接時出現(xiàn)有刺激性的異味對人體有害，而且管道內(nèi)壁有脫落的鍍層給吹掃帶來困難并污染氣體，為此規(guī)定鍍鋅鋼管采用螺紋連接。不銹鋼管承插焊連接的好處是便于管道對中，方便焊接，缺點是由于管道與承插件之間有間隙，產(chǎn)生死角，吹掃時不易吹除干凈。對高純氣體要求高和嚴格的生產(chǎn)工藝會影響其產(chǎn)品質(zhì)量，為此規(guī)定采用對接焊并要求內(nèi)壁無焊縫，它是氬弧焊接時不施加不銹鋼焊絲，利用焊件本身熔化填滿焊縫。2.管道與設(shè)備采用軟管連接時規(guī)定采用金屬軟管，以往有些單位采用非金屬軟管兩端加卡箍固定，優(yōu)點是軟管連接管道柔軟，長度隨意，連接方便，但由于非金屬管道對氣體和水的滲透性和吸附性都比金屬管道差，而且易老化變形，極易造成氣體滲漏影響氣體質(zhì)量。現(xiàn)在不銹鋼金屬軟管品種多、規(guī)格全、連接方式多樣、使用壽命長，尤其對高純氣體不造成污染等優(yōu)點，但價格較貴，綜合比較是合適的，為此推薦宜采用金屬軟管。3.高純氣體管道與閥門連接的密封材料采用金屬墊或雙卡套。具體選擇要隨生產(chǎn)工藝對高純氣體質(zhì)量的要求和氣體本身特性決定。金屬墊的密封型式嚴密性好、氣體不滲漏和污染，通常用于高純氫或氮氫混合氣系統(tǒng)以及要求氣體雜質(zhì)十分嚴格的生產(chǎn)工藝，如...
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一、國內(nèi)現(xiàn)有潔凈廠房內(nèi)氣體管道的干管、支干管與水管、電纜等基本上是敷設(shè)在技術(shù)夾道、管廊、上下技術(shù)夾層內(nèi)，符合潔凈室生產(chǎn)工藝和美觀的要求，也便于各種管道的安裝和維修。規(guī)定與水、電管線盡量共架，是從節(jié)省管架的鋼材耗量，少占空間，降低廠房層高，并考慮到氣體管道的特性，一旦產(chǎn)生泄漏易于發(fā)現(xiàn)和排除，為此規(guī)定共架時應(yīng)設(shè)在其它管道的上部。二、引入潔凈室氣體管道及管架設(shè)裝飾面板，這種做法既滿足生產(chǎn)工藝的要求，又保持潔凈室的整潔美觀，面板的顏色通常與潔凈室內(nèi)的環(huán)境相協(xié)調(diào)；也可與水管道等的裝飾面板統(tǒng)一設(shè)置。為了安全，防止可燃氣體泄漏時積聚，可燃氣體管道應(yīng)敷設(shè)在裝飾面板的外側(cè)，水平敷設(shè)時應(yīng)在其頂部便于向上擴散，通過報警探測器予以發(fā)現(xiàn)和排除。三、氣體管道的管徑通常應(yīng)按氣體流量、壓力和流速確定。考慮了高純氣體使用場所的特殊性：一是生產(chǎn)工藝復(fù)雜，加工精細，技術(shù)更新?lián)Q代快，生產(chǎn)工藝隨時調(diào)整；二是，有些生產(chǎn)設(shè)備用氣量很小，為此管徑要考慮并能適應(yīng)生產(chǎn)調(diào)整的需要，如氣體干管不一定要按流量計算逐級設(shè)變徑，同時還應(yīng)注意到管徑過大，不僅浪費材料而且對高純氣體管道初次吹掃，放空時間長，氣體消耗量大。尤其當間斷用氣，由于氣體流速小，要達到規(guī)定的氣體質(zhì)量較困難或者需要很長的時間。各種高純氣體在輸送過程中應(yīng)盡量減少污染，同時考慮管道系統(tǒng)易于吹除，因此管道系統(tǒng)應(yīng)盡量短，不應(yīng)出現(xiàn)“盲管”等不易吹除的死角。為便于在高純氣體管道投入使用前...
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一、一般要求1）潔凈廠房內(nèi)管道的敷設(shè)方式直接影響潔凈室的空氣潔凈度，因此，首先要求管道盡量在潔凈室外敷設(shè)，以最大限度地減少潔凈室內(nèi)的管道。目前，潔凈廠房的管道布置形式有：1各種干管布置在技術(shù)夾層、技術(shù)夾道、技術(shù)豎井內(nèi)。特別是有上下夾層的潔凈廠房，給水排水干管大都設(shè)在下夾層內(nèi)。2暗裝立管可布置在墻板、異型磚、管槽或技術(shù)夾道內(nèi)。3支管由干管或立管引入潔凈室，最好從上、下夾層引入20~30cm與設(shè)備二次接管相連。4安裝在技術(shù)夾道內(nèi)的管道及閥件，可明裝也可暗裝在壁柜內(nèi)。壁柜上適當加設(shè)活動板，便于檢修。2）潔凈廠房均為恒溫恒濕房間，而生產(chǎn)工藝需要的給水排水管道又有不同的水溫要求，管內(nèi)外的溫差使管外壁結(jié)露，影響室內(nèi)溫濕度。因此，對于有可能結(jié)露的管道應(yīng)采取防結(jié)露措施是必要的。對于防結(jié)露層外表面，可以采用鍍鋅鐵皮或鋁皮作外殼，便于清洗并不產(chǎn)生灰塵。3）穿管處的密封是保證潔凈室空氣潔凈度的重要一環(huán)。潔凈室內(nèi)的潔凈空氣向外滲漏也會造成能量的浪費，甚至影響室內(nèi)的潔凈度。實踐證明采用套管方式是行之有效的。當實在無法做套管的部位也必須采取嚴格的密封措施。主要的密封方法有微孔海綿、有機硅橡膠、橡膠圈，及環(huán)氧樹脂冷膠等。二、給水1）潔凈廠房內(nèi)的生產(chǎn)工藝一般為超精細加工或要求無菌無塵，對給水系統(tǒng)要求較為嚴格，如大規(guī)模集成電路的超純水、醫(yī)藥工業(yè)的無菌水等。而且有的水系統(tǒng)的造價高、管理要求嚴格，因此應(yīng)該根據(jù)不同的要求...
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潔凈室的噪聲一般不算高，但調(diào)查數(shù)據(jù)差異較大，相差近10dB(A)。 國內(nèi)關(guān)于噪聲對健康影響的研究表明，低于80dB(A)的一般工業(yè)噪聲，對健康的影響不太大。因此，潔凈室噪聲標準的制訂主要考慮噪聲的煩惱效應(yīng)、語言通訊干擾和對工作效率的影響。國外潔凈室噪聲標準的研究工作開始于20世紀60年代。1966年制定的美國聯(lián)邦標準209a和1974修訂的209b規(guī)定：“潔凈室的噪聲控制在可能進行必要的通話，滿足操作或產(chǎn)品的要求，并使人員保持在舒適和安全的范圍內(nèi)”。在ISO/DIS14644-4標準(草案)中規(guī)定：“應(yīng)依據(jù)潔凈室內(nèi)人的舒適和安全要求及環(huán)境(如其它設(shè)備)的背景聲壓級來選擇適宜的聲壓級。潔凈室的聲壓級范圍為40~65dB(A)”。從收集的國內(nèi)外潔凈室噪聲標準來看，有以下幾個特點：潔凈室的噪聲標準一般均嚴于保護健康的標準。在潔凈室的環(huán)境下，噪聲條件主要在于保障正常操作運行，滿足必要的談話聯(lián)系，提供舒適的工作環(huán)境。絕大多數(shù)標準給出的允許值在65~70dB(A)范圍，醫(yī)療行業(yè)則更低。現(xiàn)行的大多數(shù)標準均以A聲壓級作為評價指標，也有少數(shù)標準對各頻帶聲壓級提出了限制。少數(shù)標準按不同的空氣潔凈度等級分別給出了噪聲容許值，而大多數(shù)標準對不同的空氣潔凈度等級潔凈室提出了一個統(tǒng)一的容許值。根據(jù)調(diào)查研究，若以65dB(A)作為潔凈室噪聲允許值標準，工人感到高煩惱的百分率低于30%，對集中精神感到有較高影響的...
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潔凈室設(shè)計基本上有兩種基本的氣流組織，分別為亂流式氣流組織和單向流氣流組織。一、非單向流式氣流組織設(shè)計要點亂流式流潔凈室原理：一般的非單向流潔凈室，如以雷諾數(shù)判斷，屬于紊流流態(tài)。其工作原理是稀釋作用，具體而言：當干凈的氣流從送風(fēng)口送入室內(nèi)時，迅速向四周擴散、混合，同時把差不多同樣數(shù)量的氣流從回風(fēng)口排走，干凈氣流稀釋室內(nèi)的空氣，把原來含塵濃度很高的室內(nèi)污染物沖淡了，一直達到平衡。所以氣流擴散得越快、越均勻，稀釋的效果就越好。非單向流潔凈室的主要特點是從送風(fēng)口到回風(fēng)口之間氣流的流通截面是變化的，潔凈室截面比送風(fēng)口截面大得多，因而不能在全室截面或者在全室工作區(qū)截面形成勻速氣流。所以，送風(fēng)口以后的流線彼此有很大的夾角，曲率半徑很小，氣流在室內(nèi)不可能以單一方向流動，將會彼此撞擊，將有回流、旋渦產(chǎn)生。這就決定了非單向流潔凈室的流態(tài)實質(zhì)是突變流、非均勻流。為了維持潔凈室內(nèi)較低的顆粒物濃度，不僅要確定臺理的換氣次數(shù)，同時臺理控制室內(nèi)顆粒物的產(chǎn)生率、顆粒物的沉降率、回風(fēng)和排風(fēng)引起的顆粒物的減少以及 漏風(fēng)引起的顆粒物的增加或減少等這些變量，從而有效提高室內(nèi)的空氣潔凈度。(1)保持正壓：這是非單向流式氣流組織的最主要之點。一般在2~6次/h換氣次數(shù)范圍內(nèi)。(2)局部發(fā)塵的控制：非單向流潔凈室內(nèi)由于氣流是非單向流，粉塵可以擴散到任何地方，如果局部地點發(fā)塵而平均地影響全局，即使增加很多換氣次數(shù)，效果也不明顯...
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一、電子工廠潔凈室的空調(diào)負荷特點和節(jié)能(一)潔凈室的空調(diào)負荷潔凈室的凈化空調(diào)負荷由下面幾部分組成：1、室內(nèi)負荷主要包括：①室內(nèi)作業(yè)人員的散熱、散濕負荷。②室內(nèi)照明燈具的散熱負荷。③潔凈室圍護結(jié)構(gòu)(墻、頂、地、門、窗)的傳熱、傳濕負荷。④生產(chǎn)設(shè)備和生產(chǎn)過程的散熱、散濕負荷。2、潔凈室新風(fēng)處理的熱、濕負荷。夏季是降溫去濕；冬季是加熱、加濕。3、空氣輸配時風(fēng)機(或FFU)的溫升和水泵的溫升負荷。(二)高級潔凈室的空調(diào)負荷特點1、高級別潔凈室(100級，10級，1級)是垂直單向流潔凈室，其送風(fēng)機的風(fēng)量非常大，高達400~500次/h換氣，而且風(fēng)機的壓頭也很高，一般多在1000~1500Pa，因此風(fēng)機溫升的負荷大。按理論計算：在集中送風(fēng)方式的系統(tǒng)中，風(fēng)機的溫升為1.5℃，僅此一項的負荷就是500~700W/m2；如果采用FFU送風(fēng)方式，風(fēng)機溫升的負荷也要250~350 W/m2因此，風(fēng)機溫升的負荷大是其一個負荷特點。2、服務(wù)于微電子和光電子的高級別潔凈室因工藝排風(fēng)量大，所以新風(fēng)量也很大，新風(fēng)量一般在10~20次h換氣；因此，處理如此多新風(fēng)的負荷大約為400~800 W/m2；個別工藝的排風(fēng)量更大，固新風(fēng)負荷也還會更大。因此新風(fēng)負荷大是其第二個負荷特點。3、生產(chǎn)設(shè)備和生產(chǎn)過程的散熱、散濕負荷大，是高級別潔凈室的第三個負荷特點。生產(chǎn)負荷的大小是與工藝生產(chǎn)本身的性質(zhì)、生產(chǎn)設(shè)備的密閉、保溫、通風(fēng)以及...
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