一、總則

1、目的：為強化工廠能源資源集約利用，降低生產運營成本，提升能源利用效率，保障生產系統穩定運行，推動綠色低碳制造轉型，制定本規范。

2、適用范圍：本規范適用于工廠內所有生產車間、輔助設施、辦公區域的能源使用管理，涵蓋工藝設備、冷卻系統、潔凈室、電力系統、氣體輸送、給排水等全流程用能環節，全體部門及員工均需嚴格遵守。

3、基本原則：技術驅動原則：優先采用行業先進節能技術、工藝及設備，以技術革新提升節能實效；系統管控原則：構建全流程、多維度的節能管理體系，實現能源消耗的精準管控與持續優化；全員參與原則：明確各部門及崗位節能職責，強化節能宣傳培訓，形成全員參與的節能氛圍；持續改進原則：建立節能績效監測與評估機制，定期分析能耗數據，動態優化節能措施。

二、工藝設備節能

光刻機應配置智能動態節能系統，根據晶圓曝光時段動態分配能耗，閑置狀態下自動切換至低功耗模式，峰值功耗降低 44% 以上。真空泵組需采用智能調度 + 變頻控制系統，實時監測系統壓力并自動啟停調節，干式真空泵能耗較傳統設備降低 33% 以上。

氮氣吹掃系統應配備高效控制器，運行功耗控制在 1W 以內，能耗較傳統系統降低 80%。優先采用低溫 / 低壓制程工藝，優化離子注入區域布局，14nm 及以下先進制程單位產品功耗較前代降低 30% 以上。

腔室清洗流程需優化工藝參數，減少 NF?消耗 33% 以上，同步降低碳排放 32%。所有生產設備應建立節能維護規程，定期開展能效檢測與校準，確保設備長期維持設計節能指標，延長設備使用壽命30%以上。

三、冷卻系統節能

冷卻塔應配備高效風扇與變頻控制裝置，結合智能算法優化運行參數，單臺年節電不低于對應傳統設備的 15%，全廠冷卻塔集群年節電不低于650 kWh。冷水機組采用變頻改造與智能控制相結合的方式，COP 值提升 25% 以上，中央空調系統年節約電費不低于180萬元。

壓縮干燥空氣（CDA）系統應配置溫水回收預冷裝置，冷凍水用量減少 80%，年節能不低于 650 萬 kWh。關鍵發熱設備采用直接硅片液冷（DSLC）技術，實現冷卻液與芯片直接熱交換，熱阻降低 30% 以上，冷卻基礎設施規模縮減 50%。冷卻水管網優化布局，采用保溫性能優異的管道材料，減少散熱損失，管網輸送效率提升至 95% 以上。

四、潔凈室節能

潔凈室氣流組織采用 CFD 模擬優化設計，配置 AI 動態風量控制系統，根據生產負荷實時調節風量，非生產時段風量降至生產時段的 70%，能耗降低 20% 以上。采用熱回收系統 + 變頻風機 + 輻射冷卻復合技術，熱回收系統 COP 值達到 6.5 以上，年能耗降低 18%，綜合節能率不低于 20%。

新建潔凈室按碳中和標準設計，單位產值能耗較傳統潔凈室降低 42% 以上。照明系統全面采用 LED 光源，取代傳統熒光燈，能耗降低 30% 以上，顯色指數不低于 90，維護周期不短于 5 年，配置智能感應控制模塊，實現人走燈滅。潔凈室溫濕度實行精準分區控制，溫度波動范圍控制在 ±0.5℃，濕度波動范圍控制在 ±2%，避免過度調控造成能源浪費。

五、電力系統節能

變壓器選用高效型產品，鐵芯采用高磁導率硅鋼片，線圈采用高導電性材料，運行效率不低于 99%，較傳統變壓器年節電提升0.7個百分點以上。UPS 系統設置智能節能模式，具備快速切換與閑置休眠功能，運行效率從 94% 提升至 99% 以上，年節電不低于 1440 萬 kWh。

供氣管路采用氣凝膠保溫材質，替代傳統玻璃纖維，減少管路加熱能耗 25% 以上，年節電不低于 8000 萬度。優化加熱方案，精確控制管路溫度，避免因保溫不足造成的熱能散失，管路表面溫度控制在工藝要求的合理范圍。電力系統配置三級計量裝置，數據采集粒度不超過 1 分鐘，實現各車間、各關鍵設備的精準計量與能耗分析。

六、氣體與給排水系統節能

高純氣體輸送管路定期采用超聲波檢漏技術，泄漏率控制在行業標準允許范圍的 50% 以下，減少氣體浪費與能耗損失。揮發性有機氣體處理采用沸石濃縮雙轉輪系統，新增第二道轉輪濃縮流程，廢氣削減率達到99.5% 以上。

建立中水回用系統，生產廢水經處理后回用率不低于 80%，回用水質滿足工藝冷卻、清洗等輔助用水要求。供水泵組配置變頻控制系統，根據用水負荷動態調節運行參數，降低輸水能耗15%以上。優化氣體輸送壓力參數，在滿足生產工藝要求的前提下，降低系統運行壓力，減少壓縮能耗。

七、智能能源管理

建立全廠區智能能源監控平臺，整合水、電、氣、冷、熱等各類能耗數據，實現 1000 個以上監測點的實時監控與異常報警。采用神經網絡算法構建能源預測模型，從 1000 項以上運行參數中識別 90 個關鍵能效參數，對冷水系統、空調系統等進行精準優化，節能率達到 3-5%。冰機冷量采用 AI 預測方案，結合硬件改造實現綜合節能 5-10%，確保冷量供應與生產需求精準匹配。

建立能源消耗統計臺賬，每月開展能耗數據分析，識別節能潛力點，形成優化報告并跟蹤落實。設定分級能源消耗定額，分解至各部門、各車間，將節能指標納入績效考核體系。

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